表面洁净度测试仪 文章

　

表面洁净度测试仪

 

一、 仪器介绍

概述：

表面洁净度测试仪采接触式，量测物体表面的粒子数量的设备。半导体，面板厂，设备商与所有清洁部件厂商，验证部件表面是否干净的检验标准工具，人的肉眼很难看清直径在100微米以下的粒子，这些粒子会快速沉降，逃避常规的空气检测从而聚集在关键表面或产品上，从而减少产品的良率及降低产品的稳定性。

执行标准：

ISO14644-9：2022《洁净室和相关的受控环境第9部分：颗粒浓度表面清洁度的评估》

 

二、 仪器参数

技术参数：

控制系统：PLC

操作界面：7寸触摸屏

流量：28.3L/min+5%内置流量传感器，流量自动闭环控制

光源：进口激光二极管

测试粒径：0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根据客户需求定制，最多八个通道）

最大饱和浓度：2000000/ft3（5%）

自净时间：≤10min

测量次数：0-99次周期：0-99999秒测量间：0-9999秒时时间：0-9999秒

洁净度等级：1~9级

采样头规格：φ36.5

数据单位：m3、ft3

SCP等级：1级-8级

表面类型：圆形、方形

表面探头：φ12.7mm、φ20mm、φ30mm、φ50mm、φ70mm

数据单位：m2、ft2、in2、cm2、mm2

根据探头的形状（如：圆形输入直径、方形输入长宽尺寸），自动计算出表面积。

打印功能：热敏打印机

数据储存：可储存100000组数据

重量：15kg

外形尺寸：300*400*450mm

电源：AC220V50Hz150W（可选带锂电池组）

 

基本配置

主机一台

说明书1份

合格证1份

签收单1份

电源线1份

扳手1套

保修卡一个

铭牌一个

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